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第94章 科研人员的震惊【第三更】(2/3)

要高功率激光器,聚焦和位置控制的真空容器,液滴发生器收集器和计量模块等装置。

其中最关键的技术就是预脉冲,和在高频下产生极小且稳定的锡液滴。

再加上关乎光源装置使用寿命的收集器,难度确实让人无法想象。

可对于已经掌握了全部核心技术的徐磊来讲,想要制造出能够满足这些要求的装置,并不是什么太困难的问题。

面对这种情况,增加科研人员的数量显然是不可能的。

不过为了让他们两个人安心配合自己的工作,最终徐磊还是多说了几句。

“你们担心的问题我都清楚,但我既然敢做出这种人员安排,肯定是有原因在的。”

“相信我。”

“用不了多长时间,你们就会看到成熟的极紫外光源发射系统。”

话音刚落。

徐磊便转身朝工作台走去,显然不想在这个问题上再多费口舌。

听到这番话,马从明和胡兴两人先是相互看了一眼,然后和徐磊一样径直走向工作台。

因为他们虽然担心在光源上的研发会赶不上其他人的进度,可也不想被调离研发项目,毕竟徐磊不管怎么说都是项目的负责人,有权利对开发人员的增减调动做出调整。

反正在他们看来,等到徐磊在光源系统上的研究陷入瓶颈,肯定会主动改变。

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……

相比之前处理公司上的业务,沉下心来进行技术研究,徐磊明显感觉到时间流逝的速度似乎更快。

转眼便过去了十多天。

而在这些天里,徐磊在马从明胡兴两个人的辅助下,终于完成了激光器的组装。

虽说这只是整个光源系统中的其中一件装置,但代表的意义却不一样。

标志着他们成功迈出了第一步。

但要想将激光器应用到光源系统中,还需要先对其功率波长以及寿命进行测试,确保它能够满足顶级光刻机的需求。

“徐工,激光器已经准备妥当,可以开始测试了。”

这天上午。

光源实验室内。

当马从明把这台激光器安装调试完毕后,立刻开口对徐磊进行汇报。

言语中能够听出略显激动的情绪。

主要组装这台激光器他们也多少出了份力,虽然不太相信测试数据能达到海外水平,但身为科研人员在这种时候总是难以控制心底的那份兴奋。

当然。

相比他们两个人,徐磊明显平静许多。

看到马从明已经准备妥当,随即下达了开始测试的命令。

“开始吧。”

说完还不忘对胡兴吩咐道:“胡兴,注意做好各项数据分析。”

“放心吧徐工。”闻声胡兴连忙保证,并集中注意力目不转睛盯着电脑屏幕。

几乎是在徐磊声音响起的瞬间,马从明顿时启动激光器发射出激光,并准确击中掉落的锡滴液,激发出高功率的等离子体。

同时各项数据也会通过传感器直接传输到电脑之中进行分析测算。

由于测试还包括激光器的寿命问题,所以中间需要花费的时间肯定不会太短,直到实验室内响起胡兴那惊喜的声音,两人这才回过神来立即投过去询问的目光。

“数据怎么样?”

“徐工研制的这台激光器,不但功率远超海外高端光
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